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电子背散射衍射（EBSD）技术是分析高纯金靶材微观组织的有效手段，可以快速离效地定量统计材料的微观组织结构、织构、晶粒尺寸、取向差。运用电子背散射衍射技术，研究通过优化真空熔炼工艺制备的高纯金溅射靶材不同区域的微观组织、晶界取向差和织构。结果表明，高纯金靶材组织由细小的等轴晶组成，平均晶粒尺寸为206nm，样品在轧制过程中发生再结晶，样品所测得的织构（110）平行于轧面，轧向不确定，为较弱的织构。