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利用物理气相沉积(PVD)方法在316L不锈钢表面分别镀制微米量级厚的TiN+TiC+TiN、TiN+Tic+SiO2复合膜。扫描电镜观察表明:膜致密,与基体结合牢固,抗氧化,抗热冲击。二次离子质谱(SIMS)和红外光谱(IR)分析结果证实:TiC和SiO2的膜在300℃以上的氢中退火可形成抗氚爱阻挡层。测量了不同温度下氚在带膜316L中的渗透率。在200~600℃范围内,镀有TiN+TiC+Si