【摘 要】
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超精密隔振系统是由机械、电气和流体装置组成的复杂机电系统，为实现多领域统一建模仿真，选择Modelica语言进行建模。采用模块化建模方法将隔振系统自顶向下进行分解，基于Modeli
【机 构】
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华中科技大学数字制造与技术国家重点实验室
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超精密隔振系统是由机械、电气和流体装置组成的复杂机电系统，为实现多领域统一建模仿真，选择Modelica语言进行建模。采用模块化建模方法将隔振系统自顶向下进行分解，基于Modelica分别建立各元部件的动力学模型。以此为基础建立了隔振单元及控制系统的模型，最终组建了系统级多领域仿真模型，实现模型的仿真及结果输出；与实验所测数据进行比对，结果基本一致，验证了模型的准确性及有效性，对于精密隔振系统的动力学性能研究具有非常重要的意义。
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