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期刊论文
实时数字散斑干涉仪及其应用
实时数字散斑干涉仪及其应用
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenliang729
【摘 要】
:
介绍了一种用于工程的多功能数字散斑干涉仪的测量原理、系统结构和设计特点,并给出了测量结果。
【作 者】
:
任雅萍
骆德渊
【机 构】
:
西安交通大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
数字散斑干涉仪
干涉仪
DSPI
DSPI
Interferometry
Real Time
【基金项目】
:
国家“产学研联合工程”重点项目
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介绍了一种用于工程的多功能数字散斑干涉仪的测量原理、系统结构和设计特点,并给出了测量结果。
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