实时数字散斑干涉仪及其应用

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenliang729
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介绍了一种用于工程的多功能数字散斑干涉仪的测量原理、系统结构和设计特点,并给出了测量结果。
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