【摘 要】
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本文从真空器件的“量”与“质”论述开始,提出真空器件中最低量即极限真空的受限因素;较详细地叙述影响器件“质”的近十种污染来源,危害及其消除途径;从实用观点出发,对光
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本文从真空器件的“量”与“质”论述开始,提出真空器件中最低量即极限真空的受限因素;较详细地叙述影响器件“质”的近十种污染来源,危害及其消除途径;从实用观点出发,对光电子器件排气时真空机组的选择,主泵抽速值的决定及与涡轮分子泵机组的比较提出了个人看法;最后列表可看出,光电器件生产对真空度的要求是所有真空器件中等级最高的,确认光电器件部门真空技术工作的重要性。
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