【摘 要】
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研制了一套化学机械抛光机（CMP）专用的真空供给系统，主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱（汽水分离器）组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动
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研制了一套化学机械抛光机（CMP）专用的真空供给系统，主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱（汽水分离器）组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块，通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度，保证真空度要求，同时也达到节约用水、降低能耗的要求。采用有限元分析软件ANSYS Workbench对真空供给系统机架进行了模态分析，研究机架的振型、固有频率，从而在结构设计上避免共振。
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