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本文介绍了西门子法制取多晶硅的生产中,为了提升干法回收氢气的纯度所采取的工艺优化.阐述了干法回收氢气脱氯、钯膜净化工艺的基本原理、工艺流程,分析了在多晶硅生产线中实现技术优化的方案可行性,并完成了整个优化工艺的上线中试,净化后的干法回收氢气达到5个9.首次将膜处理工艺引入多晶硅生产系统,为提升多晶硅品质的研究提出了新思路,开拓了新方向.