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期刊论文
微型电光探针的研制
微型电光探针的研制
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:download1006
【摘 要】
:
介绍了用湿法化学腐蚀的方法制备GaAs晶体微型电光探针,用光学显微镜和扫描电子显微镜观察了探针形貌,微探针为金字塔形,底座是边长为20um的正方形,尖端尺寸在2um左右,侧面比较光
【作 者】
:
李海兰
贾刚
等
【机 构】
:
吉林大学电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2002年10期
【关键词】
:
湿法腐蚀
电光检测
电光探针
GAAS晶体
wet etching
electro-optic detection
electro-optic probe
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 96 76 0 2 5 ,6 9976 0 13)~~
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介绍了用湿法化学腐蚀的方法制备GaAs晶体微型电光探针,用光学显微镜和扫描电子显微镜观察了探针形貌,微探针为金字塔形,底座是边长为20um的正方形,尖端尺寸在2um左右,侧面比较光滑,棱角分明,微型电光探针整体尺寸很小,在外电光检测系统中可以显著降低对被测电场的影响,从而提高测量精度。
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