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本文通过对单晶硅，多晶硅力敏元件复合结构的对比分析，及优化多晶生长条件的选择探讨研制高稳定的多晶力敏元件的理论根据。
多晶力敏元件热稳定性分析
【摘 要】
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本文通过对单晶硅，多晶硅力敏元件复合结构的对比分析，及优化多晶生长条件的选择探讨研制高稳定的多晶力敏元件的理论根据。
【机 构】
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大连理工大学电子系,大连理工大学电子系辽宁省大连市116023,辽宁省大连市116023,辽宁省大连市116023
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1994年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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