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概述了乙硅烷的制备方法并对各种方法进行了评价。
乙硅烷的制备
【摘 要】
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概述了乙硅烷的制备方法并对各种方法进行了评价。
【机 构】
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浙江大学半导体材料研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2013年1期
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