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使用偏转滚子摩擦驱动器的超精定位系统ＨｉｒｏｓｈｉＭｉｚｕｍｏｔｏ等１．前言定位是精密工程中必不可少的技术之一，在机床和测量装置中，使用了各种各样的定位装置。最近，静压丝杆和齿轮齿条摩擦驱动器已用于超精机床的定位系统中，如非球面加工机床。这些进给装置...
使用偏转滚子摩擦驱动器的超精定位系统
【摘 要】
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使用偏转滚子摩擦驱动器的超精定位系统ＨｉｒｏｓｈｉＭｉｚｕｍｏｔｏ等１．前言定位是精密工程中必不可少的技术之一，在机床和测量装置中，使用了各种各样的定位装置。最近，静压丝杆和齿轮齿条摩擦驱动器已用于超
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年1期
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