【摘 要】
:
在Ar、N2和SiH4混合气体中,通过反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Nb-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和微力学探针表征了复合薄膜的成分、相组成、微结构和力
论文部分内容阅读
在Ar、N2和SiH4混合气体中,通过反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Nb-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和微力学探针表征了复合薄膜的成分、相组成、微结构和力学性能.结果表明,采用反应磁控溅射技术通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Nb-Si-N薄膜.少量Si的加入使薄膜得到强化,并在Si含量为3.4%时达到硬度和弹性模量的最高值,分别为53 GPa和521 GPa.进一步增加Si含量,薄膜的硬度和弹性模量逐步降低.Nb-Si-N薄膜力学性能的提高与其
其他文献
介绍了智能家居的主要概念,介绍了当今云技术的概念。设计出了一个用Wifi控制窗帘的智能控制系统,利用嵌入式技术,通过PC机上的IE浏览器登录到嵌入式Web服务器的控制页面,实
近几年,随着科学技术的快速发展,计算机网络技术已经实现了广泛应用,各行各业在信息处理、资料整合、数据分析等工作中借助计算机高效处理的便利,使处理时间变得更短、数据更加精
采用机理分析和实验数据分析相结合的方法,建立了变风量空调的数学模型,并依据此模型建立了四输入、四输出的变风量空调系统的传递函数矩阵.针对该系统采用前馈补偿法设计了
目前我国的角钢排料系统主要以人工安排为主,而人工完成角钢排料会带来很多问题,如钢材利用率低、易出错等。采用Delphi7软件对智能角钢排料系统进行创新设计,应用运筹学中的
自进入20世纪90年代以来,继广播以频率专业化及类型化的构成形式实现第一次革命后,随着社会经济及广播技术伴随着新型媒体的不断发展,广播又开始了一次全新的革命历程,其传播
采用IGRIP(Interactive Graphics Robot Instruction Program)建立了弧焊机器人工作单元空间场景模型,基于Internet实现了机器人的远程运动仿真.在仿真的基础上,采用CORBACGI
本文针对翻转机提出设计方案,并对关键零件翻转轴进行了优化。利用三维软件Pro/E建立翻转轴模型,通过ANSYS软件对翻转轴进行了网格划分和静力分析,得到了应力分布图,并在此基
提出了一种新的基于相空间重构和独立分量分析的超声信号去噪方法.应用该方法处理了实际的试块超声检测信号,并与小波去噪的效果进行了比较.实验结果表明,该去噪方法的效果与
基于疲劳曲线,考虑应力范围的随机性,获得了结构疲劳寿命所服从的分布,计算出期望寿命的可靠度.采用人工神经网络后向传播BP模型,把应力范围与所期望的疲劳寿命作为输入节点,
基于计算流体动力学理论的空间结构风场风载数值模拟方法,研究了具有复杂体型的空间结构形体表面及其周围的风场,确定空间结构的风压分布,进而得到结构表面风载体型系数,并与相应