三轴高g压阻式微加速度计的设计

来源 :厦门大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：caoerduo

【摘要】

：

提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法．通过理论推导和计算，分析了模型的应力和频率，得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数．通过有限元软件ANSYS分析确定了在

【作者】

：

林杰林立伟郭航

【机构】

：

厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院

【出处】

：

厦门大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2014年4期

【关键词】

：

三轴高g 压阻微加速度计仿真 t riaxial high-g piezoresistive microaccelerometer simulat

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提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法．通过理论推导和计算，分析了模型的应力和频率，得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数．通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案．在此基础上，对三轴进行了200000g载荷下的性能研究，结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度．

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