【摘 要】
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实验采用MPCVD装置，以氢气和甲烷为主要气源，氮气和氩气为辅助气源在镍片上生长石墨烯薄膜，并对不同条件下制备样品进行拉曼光谱仪表征，通过拉曼光谱图中D峰和D′峰峰强来分析石
【机 构】
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武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室,中国科学院等离子体物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目:11175137/A050610
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实验采用MPCVD装置，以氢气和甲烷为主要气源，氮气和氩气为辅助气源在镍片上生长石墨烯薄膜，并对不同条件下制备样品进行拉曼光谱仪表征，通过拉曼光谱图中D峰和D′峰峰强来分析石墨烯缺陷含量；2D峰峰强和半高宽来分析薄膜层数。结果显示氮气等离子体离解率低，会增加成膜缺陷不利于成膜；氩气离解率较高，适量的氩气会减少缺陷含量提高膜层质量；较低功率会加速石墨的沉积，较高功率会增加sp3杂化的碳碳键的形成。
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