Investigation on the magnetomechanical behavior of trilayered GM actuator

来源 :Journal of Rare Earths | 被引量 : 0次 | 上传用户：QQ737618442

【摘要】

：

在这篇文章，它被建议一个 TbFe/Co/Dy trilayered 美国通用汽车公司(巨大的 Magnetostrictive ) 电影类型致动器并且为微申请调查了致动器的 mag-netomechanical 特征。trilay

【作者】

：

Heung-Shik Lee Chongdu Cho

【机构】

：

DepartmentofMechanicalEngineering

【出处】

：

Journal of Rare Earths

【发表日期】

：

2008年2期

【关键词】

：

稀土磁弹性磁化作用磁力学 GM actuator magnetostriction trilayered film magnetron sputte

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在这篇文章，它被建议一个 TbFe/Co/Dy trilayered 美国通用汽车公司(巨大的 Magnetostrictive ) 电影类型致动器并且为微申请调查了致动器的 mag-netomechanical 特征。trilayered 电影在不同厚度比率被制作让优化 structure.TbFe 有积极美国通用汽车公司性质，和钴，成为合成电影的磁伸缩性质的镝层在低磁场增加。为了制作 Si，与 trilayered 电影基于微致动器，包括 RE (蚀刻的反应离子) 的微用机器制造过程和选择 DC 磁控

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