SrTiO3薄膜的制备及其性能表征

来源 :商洛学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：taiyangkaimen

【摘要】

：

以Sr（OOCCH3）2· H2O,Ti（OC4H9）4为原料,用溶胶-凝胶工艺成功地进行了STO薄膜的制备,溶胶薄膜经过575℃-725℃/60 min退火形成立方钙钛矿结构.用XRD、SEM等进行了结构和形貌

【作者】

：

常亮亮

【机构】

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陕西省尾矿综合利用重点实验室（商洛学院）

【出处】

：

商洛学院学报

【发表日期】

：

2013年6期

【关键词】

：

SRTIO3薄膜溶胶-凝胶法介电常数 SrTiO3 films Sol-Gel process dielectric constant

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以Sr（OOCCH3）2· H2O,Ti（OC4H9）4为原料,用溶胶-凝胶工艺成功地进行了STO薄膜的制备,溶胶薄膜经过575℃-725℃/60 min退火形成立方钙钛矿结构.用XRD、SEM等进行了结构和形貌表征,证明了该薄膜是纳米晶体结构,制定了SrTiO3薄膜的最佳退火工艺.STO薄膜的介电特性分析：在100 kHz下,室温时,STO薄膜的介电常数为475而介电损耗为0.050.

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