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韩国科学技术院教授崔养圭等人开发出的硅半导体电路线宽仅3纳米，相当于成人头发丝直径的4万分之一。这种半导体采用新型三维结构，可在常温下保持良好的半导体功能。
3纳米半导体技术
【摘 要】
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韩国科学技术院教授崔养圭等人开发出的硅半导体电路线宽仅3纳米，相当于成人头发丝直径的4万分之一。这种半导体采用新型三维结构，可在常温下保持良好的半导体功能。
【出 处】
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光学精密机械
【发表日期】
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2006年1期
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