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提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法，介绍了测量系统各部分的结构，给出了测量结果．实验表明，对于硅片上的PbTiO3薄膜，测试误差小于7nm．
三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用
【摘 要】
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提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法，介绍了测量系统各部分的结构，给出了测量结果．实验表明，对于硅片上的PbTiO3薄膜，测试误差小于7nm．
【机 构】
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西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所,空军工程大学工程学院
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年1期
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