反应烧结碳化硅的磨削特征

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采用金刚石砂轮对(RBSiC)进行磨削,系统研究了表面形貌、残余应力和弯曲强度等磨削特征.结果显示,材料主要以脆性断裂去除,局部区域为塑性切除.随着轴向进给增大,表面粗糙度(Ra)增加,为降低Ra可进行适当光刀.随着轴向进给增加,磨削区的冷却效果被削弱,使磨削残余压应力值下降.与0.9μm/s相比,用1.35μm/s磨削后试样的表面损伤程度增加.工作台转速2.1 r/min、轴向进给0.9μm/s并光刀1 min是保证高加工效率并获得较好质量表面的最优参数.
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