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本发明是有关甲硅烷的纯化，可用于制取高纯度的硅，尤其适用于制取半导体器件，如各种晶体管、光电管的电路及其它电磁与光控系统。
甲硅烷的纯化方法
【摘 要】
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本发明是有关甲硅烷的纯化，可用于制取高纯度的硅，尤其适用于制取半导体器件，如各种晶体管、光电管的电路及其它电磁与光控系统。
【机 构】
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不详,大连制碱研究所,光明所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1985年4期
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