东芝DSA mA过低故障维修1例

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机型INFINIX—VCI故障现象 在做F-mA ADJUST(SF/MF/LF时,发现较高的HEAT DATA出来的NE—mA/ACT—mA很低,并且在做calculate时出现“calculate error”提示,在作R—mAadjust时NE—mA/ACT—MA也比工厂提供的数据低很多,但在做calculate时不出错,但heatdata曲线很高。正常界面下曝光不出错。
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