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在神经工程中，微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口，其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果．提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列．在微电极的割备过程中，使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术．半球形形貌酌微电极有利于形成和神经组织的良好接触，并且相比同底面积的平板电极，表面积增加为2倍，这有利于降低界面阻抗，降低系统功耗．使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料，它具有良好的生物相容性和柔性，可以降低对神经组织的损害．实验结果表明，与此半球形微电极底面