论文部分内容阅读
为了准确测试和评价大口径连续相位板(CPP)元件的远场光强性能,根据激光装置需求建立了351nm波长下大口径CPP远场光强离线测试系统,开展了330mm×330mm口径CPP元件测试实验,并与标避衍射计算结果进行埘比.分析了系统的测试重复性和测试精度。实测系统远场弥散斑大小为2.9倍衍射极限,町测试最大口径为圆形Ф600min和方形430mm×430mm。测试系统在焦点±2mm范围内的能量集中度测试最复忭优于0.2%。计算和实验焦斑形貌及分布吻合,实测能量集中度比计算结果小0