【摘 要】
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设计了一种应用于3DNAND存储器的高压生成电路,包括振荡器、时钟生成电路、新型电荷泵及反馈环路。与传统的电荷泵相比,新型电荷泵消除了阈值电压损失与衬底偏置效应,提高了
【机 构】
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长江存储科技有限公司; 中国科学院微电子研究所; 中国科学院大学;
【基金项目】
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中国科学院科技服务网络计划(STS计划)资助项目(KFJ-STS-ZDTP-045)
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设计了一种应用于3DNAND存储器的高压生成电路,包括振荡器、时钟生成电路、新型电荷泵及反馈环路。与传统的电荷泵相比,新型电荷泵消除了阈值电压损失与衬底偏置效应,提高了升压效率。通过控制时钟的电压幅度来调节输出电压,减小了输出电压纹波。电路在0.32μm CMOS工艺模型下进行了仿真验证。结果表明,在3.3V工作电压下,该电路稳定输出15V的高压,上升时间为3.4μs,纹波大小为82mV,最大升压效率可达到76%。该高压生成电路在各项性能指标之间取得了平衡,其突出的综合性能能满足3DNAND存储器的工作需求。
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