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采用MENS技术的湿度传感器
采用MENS技术的湿度传感器
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhugege521
【摘 要】
:
湿度传感器厂商美国Hygrometrix采用MEMS技术的湿度传感器已达到实用水平。通过MEMS构造检测基于湿度的聚合物薄膜的收缩,感应芯片通过在2mm见方的正方形硅芯片上打孔,形成了4
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2005年8期
【关键词】
:
MEMS技术
湿度传感器
聚合物薄膜
硅芯片
正方形
可移动
悬臂
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湿度传感器厂商美国Hygrometrix采用MEMS技术的湿度传感器已达到实用水平。通过MEMS构造检测基于湿度的聚合物薄膜的收缩,感应芯片通过在2mm见方的正方形硅芯片上打孔,形成了4个悬臂(Cantilever)。各悬臂采用将正方形的外周作为固定部分、以中心作为可移动部分的结构。
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