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本文叙述了MES系统的定义,半导体制造前工序中的MES系统的特点,各组成模块的功能,系统的软硬件要求等.并指出了其在半导体制造中的应用.
MES系统及其在半导体制造中的应用
【摘 要】
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本文叙述了MES系统的定义,半导体制造前工序中的MES系统的特点,各组成模块的功能,系统的软硬件要求等.并指出了其在半导体制造中的应用.
【机 构】
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中国电子科技集团第58研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2005年10期
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