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利用图像处理技术设计了一个芯片尺寸测量系统,实现了对芯片电路尺寸的精确测量。介绍了测量系统的组成,以及对采集的显微图像进行的灰度化、滤波降噪、阈值分割、边缘检测等处理,并通过一块已知尺寸的半导体芯片对测量系统进行了标定。最后,利用该系统对芯片电路的线宽进行了测量。实验结果表明,该测量系统具有较高的精度。