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微小间隙的光干涉法测量
微小间隙的光干涉法测量
来源 :机电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuobin0904
【摘 要】
:
本文用自行设计的光干涉弹流试验机测量了精圆接触弹流润滑的油膜厚度的形状和分布 。对国产牵引油进行了详细的研究,并将其和润滑油进行了对比分析。分析了不同国产润滑油和
【作 者】
:
汪久根
王建国
【机 构】
:
浙江大学,杭州电子工学院
【出 处】
:
机电工程
【发表日期】
:
1997年6期
【关键词】
:
微小间隙
光干涉法
润滑膜
测量
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本文用自行设计的光干涉弹流试验机测量了精圆接触弹流润滑的油膜厚度的形状和分布 。对国产牵引油进行了详细的研究,并将其和润滑油进行了对比分析。分析了不同国产润滑油和牵引油的弹流液体膜的变化情况。
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