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以双盘式渐开线测量装置为研究对象，研究了对此装置的微机误差补偿方法。从众多的误差源中选出最大的三种误差进行补偿，使装置不确定度由原来的≤±0．7μm下降到≤±0．5μm。
双盘式渐开线测量装置误差的计算机补偿方法
【摘 要】
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以双盘式渐开线测量装置为研究对象，研究了对此装置的微机误差补偿方法。从众多的误差源中选出最大的三种误差进行补偿，使装置不确定度由原来的≤±0．7μm下降到≤±0．5
【出 处】
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光学机械
【发表日期】
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1991年6期
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