二氧化硅薄膜驻极体的电荷特性

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对二氧化硅薄膜驻极体中几种主要电荷的基本特性-固定氧化物电荷的特性特性、氧化物陷阱电荷的特性及硅-二氧二硅界面陷阱电荷的特性进行了分析。
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