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期刊论文
二氧化硅薄膜驻极体的电荷特性
二氧化硅薄膜驻极体的电荷特性
来源 :电声技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:saialmaster
【摘 要】
:
对二氧化硅薄膜驻极体中几种主要电荷的基本特性-固定氧化物电荷的特性特性、氧化物陷阱电荷的特性及硅-二氧二硅界面陷阱电荷的特性进行了分析。
【作 者】
:
解希顺
温建岳
【机 构】
:
东南大学,晓庄师范学校
【出 处】
:
电声技术
【发表日期】
:
1999年12期
【关键词】
:
二氧化硅
驻极体
电荷特性
薄膜
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对二氧化硅薄膜驻极体中几种主要电荷的基本特性-固定氧化物电荷的特性特性、氧化物陷阱电荷的特性及硅-二氧二硅界面陷阱电荷的特性进行了分析。
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