MCVD 沉积率目前存在的两种不同观点

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本文从 MCVD 的沉积机理出发,集中阐述目前在 MCVD 工艺沉积率的研究中,存在着的两种不同观点:一种观点认为 MCVD 沉积率与加热喷灯移动的速度成正比,另一种观点则认为是成反比;一种观点认为石英管的内径愈大沉积率愈高,相反的观点则认为随着管子内径的增加沉积率降低。 Based on the deposition mechanism of MCVD, this paper focuses on two different viewpoints that exist in the study of MCVD deposition rate: one is that the deposition rate of MCVD is proportional to the moving speed of heated torch, and the other view is that Is inversely proportional; a view that the larger the inner diameter of the quartz tube deposition rate, the contrary view is that as the tube diameter increases the deposition rate decreases.
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