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根据大功率RF功放的输出阻抗特点及应用需求提出了负载牵引匹配技术,通过理论推导和ADS软件仿真验证了负载牵引匹配方法的有效性,最后结合负载牵引阻抗匹配技术,提出了ICP光谱仪中RF功放在不同输出功率条件下阻抗匹配的具体方案,即根据输出功率及选定的工作条件,优先使用最佳负载典型值,其次考虑负载牵引仿真。