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本文从电子束物理气相沉积设备的组成、主要部件、真空度、冷却结构等四个方面八手，重点讨论了电子束物理气相沉积设备的工作原理，研究了电子枪、离子清洗装置、真空度等设计参数，提出了电子束物理气相沉积设备结构设计建议。
电子束物理气相沉积设备工作原理与结构设计
【摘 要】
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本文从电子束物理气相沉积设备的组成、主要部件、真空度、冷却结构等四个方面八手，重点讨论了电子束物理气相沉积设备的工作原理，研究了电子枪、离子清洗装置、真空度等设计参
【机 构】
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中航工业黎明航空发动机集团公司
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2011年23期
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