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本文给出一种部分相干照明条件下元象差显微物镜成象特性的快速模拟算法。用于研究照明波长、相干系数、数值孔径及离焦等对成象质量的影响。
部分相干系统无象差成象的快速计算
【摘 要】
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本文给出一种部分相干照明条件下元象差显微物镜成象特性的快速模拟算法。用于研究照明波长、相干系数、数值孔径及离焦等对成象质量的影响。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光学工程
【发表日期】
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1989年2期
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