基于MEMS方法的二维纳米硅模具的设计制造

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热压技术是制作聚合物纳米结构的一项重要应用技术,是在一定温度和压力下,将模具的图形按照1:1的比例复制到聚合物基底上,从而在聚合物基底上得到了纳米图形。利用高质量二维纳米凸起模具,通过精确地控制热压参数,就可以批量生产出与模具结构相对应的二维纳米沟槽。因此制造二维纳米模具是热压成型二维纳米沟槽的一个至关重要的环节。由于二维纳米模具的质量决定了最终聚合物二维纳米沟槽的成型质量,同时模具的设计与制造决定了纳米沟槽的质量与形状,因此设计制造高质量的二维纳米模具是利用热压技术成型聚合物二维纳米沟槽所面临的关键问题
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