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表面起伏靶是惯性约束聚变分解实验中的重要实验用靶。本文报民了采用离子束刻蚀和激光干涉两种方法制备初始微扰振幅和波长分别在几微米和几十微米范围的正弦调制形状；摸索了相应的工艺条件和工艺过程；用台阶仪及光学显微轮廓仪测微加工后的形貌；探讨了调制波长的精确控制与干涉工艺之间的关系。
平面调制靶的表面起伏图形研制
【摘 要】
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表面起伏靶是惯性约束聚变分解实验中的重要实验用靶。本文报民了采用离子束刻蚀和激光干涉两种方法制备初始微扰振幅和波长分别在几微米和几十微米范围的正弦调制形状；摸索了
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所,同济大学化学系
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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1996年4期
【基金项目】
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国家高技术惯性约束聚变领域资助
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