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电子辐照改善氢化非晶硅的结构弛豫
电子辐照改善氢化非晶硅的结构弛豫
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sammerkong
【摘 要】
:
氢化非晶硅(α-Si:H)的结构弛豫是导致α-Si:H性能光诱导衰变的重要原因之一。用O.5MeV、注量1.3×10^20ecm^2的电子束辐照,α-Si转化为微晶硅,不稳定的弱Si-Si键因断裂而减
【作 者】
:
钟雨乐
刘伟平
等
【机 构】
:
暨南大学电子工程系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
电子辐照
非晶硅
结构弛豫
微晶化
氢化
光电池
【基金项目】
:
国务院侨办重点学科科学基金资助项目
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氢化非晶硅(α-Si:H)的结构弛豫是导致α-Si:H性能光诱导衰变的重要原因之一。用O.5MeV、注量1.3×10^20ecm^2的电子束辐照,α-Si转化为微晶硅,不稳定的弱Si-Si键因断裂而减少。α-Si光电池和相应试验初步证实,合适的电子辐照可以缓解α-Si的结构驰豫现象。
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