论文部分内容阅读
2008年4月30日，全球最大晶圆代工服务商台积电（TSMC）召开新闻发布会，公布了即将启动的全新MEMS代工服务详情。该公司将提供MEMS—CMOS集成和封装的本体和表面微加工工艺。TSMC有意提供新型芯片一芯片键合工艺。此外，公司还计划采用镀膜工艺解决MEMS粘附问题。
TSMC即将全面启动MEMS代工
【摘 要】
：
2008年4月30日，全球最大晶圆代工服务商台积电（TSMC）召开新闻发布会，公布了即将启动的全新MEMS代工服务详情。该公司将提供MEMS—CMOS集成和封装的本体和表面微加工工艺。TSMC有
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2008年12期
其他文献
利用活性评价及跟踪分析尾气硫含量的方法考察了钴钼硫化物耐硫甲烷化催化剂在初始阶段活性变化规律,并利用透射电镜(TEM)和X光电子能谱(XPS)技术对使用前后的催化剂进行了表
分析比较了CO_2精制工艺的方法,研究了用催化燃烧法脱除CO_2中的微量乙烯,以获得高纯度的CO_2。制备了3种涂层载体,得到了比表面较大的异丙醇铝涂层。并研究了催化剂的制备方
2013年4月21-29日，德尔福携其先进的汽车安全、绿色、互联系列产品参加了在上海新国际博览中心举办的第15届上海国际汽车工业展览会，德尔福五大事业部：电子／电气系统事业部、电子
微纳操作器是纳米操作系统中的关键部件之一.本文重点分析了并联微纳操作器的运动学正解和逆解,推导出了运动学正解的雅可比矩阵.依据微纳操作器的可操作空间最大化,对微纳操
基于分子聚集模型建立了分子聚集溶液理论导出了混合热的计算式，应用本公式关联并计算了８个二元醇－烃体系２５℃下的混合热数据，获得满意的结果。表明作者提出的分子聚集模型方程很适
考察了助剂CuO和K_2O对沉淀铁F-T合成催化剂物化性能的影响。XRD结果表明,该沉淀铁主体物相为α-Fe_2O_3。TEM和SEM表明,其微观具有椭园形比较规则的晶粒,K_2O的加入影响晶粒
广东省桃源陶瓷工艺厂系嘉应学院美术学院产学研结合企业，位于素有“陶瓷之乡”、“南国瓷都”的大埔县，创建于1989年10月。主要生产釉下青花五彩、釉中彩、白胎、色釉等高中档
综述了水溶性膦配体的合成，以及水溶性过渡金属络合物催化剂在水／有机两相反应体系中催化剂反应的近期进展。