【摘 要】
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为满足微细加工、超精加工等的实时性、精度要求，基于前馈复合控制，提出一种压电单轴精密位移的嵌入式实时控制系统。建立了压电致动器的阶跃响应模型、迟滞特性的Preisach及逆
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为满足微细加工、超精加工等的实时性、精度要求，基于前馈复合控制，提出一种压电单轴精密位移的嵌入式实时控制系统。建立了压电致动器的阶跃响应模型、迟滞特性的Preisach及逆模型。采用Preisach逆模型作为前馈控制环节、比例积分控制作为反馈环节，设计前馈复合控制器。研制了基于S3C2410控制器的压电单轴实时位移控制系统。测试表明：阶跃响应稳态误差小于0．15μm，调节时间约1．2ms，超调量约10％；正弦响应误差为-0．41～0．45μm，在±1．5％以内；该系统能满足多个领域的实时精确控制
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