MOCVD计算机控制系统设计与实现

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金属有机化学气相沉积技术简称为MOCVD,MOCVD技术能够实现在衬底上生长材料晶体。随着计算机技术的发展,MOCVD计算机控制系统被研发出来,其改善了手工控制中的种种不便,实现了MOCVD生长过程的微机控制。基于以上,本文简要分析了MOCVD技术,并从硬件设计和软件设计两个方面研究了MOCVD计算机控制系统的设计与实现。
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