激光系统在芯片制造中崭露头角

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:amorg
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
一年以前,一批新的激光系统才刚刚进入集成电路的制造领域。激光在今后的芯片制造中应用前景现在已经明朗化。更进一步的深入应用还有待于半导体厂家去努力。XMR公司说,他们生产的用于硅电路微细加工的准分子激光系统LMMC,在其投产后的第二年底,开始有了转机。但这家公司的另一台系统就不那么幸运,那是一台基于准分子激光辅助掺杂技术,用于大容量存储器芯片的精确的极浅扩散系统。该公司眼下还在寻找一家大公司对它的系统进行投资。 A year ago, a new batch of laser systems was just entering the manufacturing of integrated circuits. Laser application prospects in the future of chip manufacturing has now become clear. Further in-depth application of semiconductor manufacturers still have to work hard. XMR said the LMMC, an excimer laser system for microfabrication of silicon circuits, had its turnaround the end of the second year after it was put into production. But the other system at the company was less fortunate to be an accurate, very shallow diffusion system based on excimer laser-assisted doping for high-capacity memory chips. The company is still looking for a big company to invest in its systems.
其他文献
美国Tritton Technologies日前推出了能在记录型DVD光盘上复制DVD录像内容及PlayStation2的DVD软件的DVD+RW光驱“TrittonViper External Drive(TRI-034)”。该产品可作为电
助跑起跳是跳远技术中的重要组成部分,对其掌握的好坏直接影响着跳远运动技术的发挥和运动成绩的提高。为此,本文通过对跳远技术中影响助跑准确性的各种相关因素进行分析,提
本文介绍了内蒙古阿钦楚鲁二长花岗岩所在区域的地质特征、花岗岩岩体特征及岩相学、岩石地球化学特征。采用锆石SHRIMP U-Pb测年,结果表明:阿钦楚鲁二长花岗岩形成时代为295.4±3.6Ma,成因上为古亚洲洋盆在闭合后,在岩石圈由挤压增厚向伸展体制转换的动力学背景下,在研究区由于俯冲板片的断离,造成软流圈上涌和岩石圈地幔的部分熔融,而部分幔源岩浆底侵到地壳的下部或者呈基性侵入体的形式侵入地壳,引
蒽环类化合物普遍具有抗肿瘤活性,是临床上使用的一类广谱抗肿瘤抗生素,但有些化合物具有较大的毒性和耐药性,由此限制了该类化合物的进一步发展和应用,而采取对该类化合物的
教学效果的好坏影响学生学习的兴趣和积极性,影响教师教学能力的提升,更影响学校良好的发展。而青海玉树藏族自治州高中思想政治课要取得良好的课堂教学效果受很多因素影响。
1研发c-Met抑制剂—从苗头到先导化合物1.1 c-Met是抗肿瘤药物的靶标辉瑞公司于2006年上市了舒尼替尼(1,sunitinib),由于1对多种酪氨酸激酶(VEGFR、PDGFR和KIT)的抑制作用,得
To explore the functional mechanism of tetraarsenic tetrasulfide(As4S4) against the growth and proliferation of colon cancer cells ls174t, MTT method was used t
前言武术是具有强大生命力的民族文化遗产,是具有着极其深厚群众基础的传统体育项目,其特点是内容丰富,融技击、健身、观赏、娱乐与一体,深受广大人民群众的喜爱,但随着现代
随着新课改的不断推行,初中美术欣赏课备受社会各界关注,成为初中生陶冶情操、提升自身审美意识能力等方面的推动力量。为了迎合社会各界对美术欣赏课的重视及关注,进一步完
期刊
研究利多卡因对克隆h ERG钾通道的作用,探讨其对心脏电生理的影响。利用全细胞膜片钳技术和Western blot技术,观察利多卡因对稳定表达h ERG钾通道的HEK 293细胞h ERG电流和蛋