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随着科学技术的发展，3DSIP（System—in—package）技术已成为世界热点。基于MEMS圆片级封装WLP（Wafer—level packaging）的SIP技术是目前3DSIP最重要技术之一，
基于MEMS圆片级封装／通孔互联技术的SIP技术
【摘 要】
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随着科学技术的发展，3DSIP（System—in—package）技术已成为世界热点。基于MEMS圆片级封装WLP（Wafer—level packaging）的SIP技术是目前3DSIP最重要技术之一，
【机 构】
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南京电子器件研究所,单片集成电路与模块国家重点实验室
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2011年2期
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