【摘 要】
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高纯度稀土金属Yb靶材在气相沉积镀膜领域具有广泛应用,但目前还原-蒸馏法制备的Yb中弥散分布的黑色杂质严重影响了镀膜膜层的质量.采用XRD,SEM,EDS和碳硫分析仪等检测手段对Yb中黑色杂质的组成和形貌特征进行研究,结果表明杂质是以颗粒形式赋存于晶界的稀土氢化物.稀土氢化物杂质中的H主要由被污染的还原剂La以稀土氢化物和吸附水分子的形式带入反应器,其含量与温度、湿度等环境状态因素密切相关.此外,针对带有黑点的不合格Yb也提出了对应的解决策略,该研究为生产高质量的稀土金属Yb提供了技术保障.
【机 构】
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包头稀土研究院,白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司,内蒙古包头014030;包头稀土研究院,白云鄂博稀土资源研究与综合利用国家重点实验室,瑞科
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高纯度稀土金属Yb靶材在气相沉积镀膜领域具有广泛应用,但目前还原-蒸馏法制备的Yb中弥散分布的黑色杂质严重影响了镀膜膜层的质量.采用XRD,SEM,EDS和碳硫分析仪等检测手段对Yb中黑色杂质的组成和形貌特征进行研究,结果表明杂质是以颗粒形式赋存于晶界的稀土氢化物.稀土氢化物杂质中的H主要由被污染的还原剂La以稀土氢化物和吸附水分子的形式带入反应器,其含量与温度、湿度等环境状态因素密切相关.此外,针对带有黑点的不合格Yb也提出了对应的解决策略,该研究为生产高质量的稀土金属Yb提供了技术保障.
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