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采用Ar^+离子束溅射沉积技术和钛基体上沉积羟基磷灰石薄膜涂层,Ar^+离子束的能量分别为0.9keV、1.2keV和1.5keV。利用X射线衍射(XRD)、扫描电(SEM0、透射电镜(TEM)和红外光谱(FTIR)等检测方法,对制备的羟基磷灰石薄膜涂层进行了表征。X射线衍射和透射电结果表明该薄膜涂层为非晶态;红外光谱中无羟基(OH)特征峰存在,CO3根吸收峰的出现说明制备过程中会引入CO3根;扫