蓝宝石衬底上透明MgxZn1-xO薄膜的制备及表征

来源 :第五届全国特种玻璃会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yh920927

【摘要】

：

采用射频磁控溅射法在Al2O3(001)衬底上制备了高Mg含量的MgxZn1-xO薄膜,研究了MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性能.结果表:Al2O3(001)衬底上MgxZn1-xO薄膜的组分为Mg0.47Zn0.53O,薄膜呈六方纤锌矿结构.薄膜沿c轴方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.002 9 nm.薄膜的吸收边峰值位于292nm,对应的禁带宽度为4.24eV.薄膜平均粒径约为10～20

【作者】

：

张希艳刘全生王玉霞柏朝晖王晓春孙海鹰

【机构】

：

长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022

【出处】

：

第五届全国特种玻璃会议

【发表日期】

：

2010年11期

【关键词】

：

氧化锌镁射频磁控溅射蓝宝石衬底透明薄膜

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