微叠层材料及其制备工艺研究进展

来源 :宇航材料工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shanlin_shanlin
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着重论述了各种微叠层材料及其制备方法,认为电子束物理气相沉积是制备微叠层材料的有效方法;同时对微叠层材料性能方面的研究也作了相应的论述,并展望了我国今后在这方面的研究方向.
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