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器件宏模型技术是微机电（MEMS）系统设计和系统级仿真的关键技术。为了建立静电致动硅膜板的宏模型，在运用有限元进行模态分析的基础上，利用多变量非线性函数拟合方法，将由数值计算得到的静电器件系统的动能、弹性能和电容写成模态广义坐标表示的解析式，导出以模态坐标表达的器件系统动力学方程，即宏模型。利用该宏模型研究了器件的静态、动态特性，并与有限元计算结果进行比较。结果表明：用模态坐标表达的动态宏模型能够考虑残余应力、大变形、静电力等非线性因素的影响，大大地减少了计算费用，而且具有足够的仿真精度。