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Si面键合技术及其应用
Si面键合技术及其应用
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sheep1number
【摘 要】
:
回顾了Si面键合技术的历史,研究了国外此工艺技术发展过程与趋势,分析了Si面直接键合技术的特点和它在压电与声光器件中的应用。
【作 者】
:
郑海东
陈晓明
【机 构】
:
浙江大学信息与电子工程系
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
键合
直接键合
应用
硅面
bonding
silicon direct bonding
application
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回顾了Si面键合技术的历史,研究了国外此工艺技术发展过程与趋势,分析了Si面直接键合技术的特点和它在压电与声光器件中的应用。
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