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对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述,并且应用现有的高精度现代化测试设备,对超精密加工的硅、锗、玻璃、硬质合金、铝等材料的几种性能进行了实验研究,证明了这些手段和评价方法的可行性.
微纳米加工表面和表层的完整性评价
【摘 要】
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对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述,并且应用现有的高精度现代化测试设备,对超精密加工的硅、锗、玻璃、硬质合金、铝等材料的几种性能进行了
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院测控系,哈尔滨工业大学精密工程研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年4期
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