【摘 要】
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滑杆式真空闭锁装置(图1)广泛用于各类电子能谱仪及其它各种表面分析仪器中。通常这类仪器要求在真空度高于10-8托的真空下测试样品。使用真空锁,能够做到样品室的高真空不被
【机 构】
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中国科学院化学研究所,中国科学院化学研究所
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滑杆式真空闭锁装置(图1)广泛用于各类电子能谱仪及其它各种表面分析仪器中。通常这类仪器要求在真空度高于10-8托的真空下测试样品。使用真空锁,能够做到样品室的高真空不被破坏而迅速方便地更换样品。 滑杆式真空锁的工作原理如下:(参看图1) 当更换样品时,退进样杆(在本文中,
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